一种垂直3D存储器装置及其制造方法的发明专利
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2022-09-02
一种垂直3D存储器装置及其制造方法的发明专利
摘要：
一种垂直3D存储器装置可包括：衬底，其包含每一者与多条数字线中的相应者耦合的多个导电接触件；多个字线板，其用所述衬底上的相应电介质层彼此分离，所述多个字线板包含用以蛇形形状延伸的电介质材料与至少第二组字线分离的至少第一组字线及用以蛇形形状延伸的电介质材料与至少第四组字线分离的至少第三组字线；至少一个分离层，其将所述第一组字线及所述第二组字线与所述第三组字线及所述第四组字线分离，其中所述至少一个分离层平行于数字线及字线两者；及多个存储元件，其每一者形成于多个凹部中的相应者中，使得相应存储元件由相应字线、相应数字线、相应电介质层及形成于字线面向数字线的侧壁上的保形材料包围
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