[发明公布] 一种陶瓷/铜复合基板及其制备方法
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2022-03-11
[发明公布] 一种陶瓷/铜复合基板及其制备方法
摘要：本发明属于功能涂层制备技术领域，具体涉及一种陶瓷/铜复合基板及其制备方法。该方法包括：(1)采用等离子喷涂或者火焰喷涂设备，将陶瓷粉末(可为Al2O3、AlN、Si3N4等)在一定条件下喷涂到纯Cu板材上，形成陶瓷沉积层。(2)采用冷气动力喷涂设备，在已制备的陶瓷沉积层表面喷涂高纯Cu粉末，以获得纯Cu沉积层。该方法制成的陶瓷沉积层较薄，热阻较小，且具有良好的力学性能;制得的Cu沉积层氧含量低，可满足电力电子器件中功率模块的封装材料的要求。
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