一种具有双运动基片承载件的系统的发明专利
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2022-11-04
一种具有双运动基片承载件的系统的发明专利
摘要：
提供了一种处理系统，其包括：真空外壳，其具有多个处理窗口和位于其中的连续轨道；多个处理腔室，其被附接于真空外壳的侧壁，每个处理腔室对应处理窗口中的一个；装载锁定站，其被附接于真空外壳的一端并在其中定位有加载轨道；至少一个闸阀，其将装载锁定站与真空外壳间隔开；多个基片承载件，其被配置成在连续轨道和加载轨道上行进；至少一个轨道交换器，其被定位在真空外壳内，轨道交换器可在第一位置和第二位置之间移动，在第一位置中，使得基片承载件在连续轨道上连续地移动，在第二位置中，使得基片承载件在连续轨道和加载轨道之间输送。
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